Om de stabiele werking van de lithografie-machine te behouden, is het noodzakelijk een koelsysteem in de lithografie-machine in te stellen.Het koelsysteem van de lithografie-machine omvat voornamelijk waterkoeling, gedwongen luchtkoeling, koelmiddel, waterstof en helium en andere manieren, waarvan waterkoeling de belangrijkste is.Het waterkoelsysteem in de lithografie-machine laat het water door de interne radiator door de waterleiding, neemt de warmte weg wanneer deze door de interne hoogtemperatuuronderdelen stroomt en verdrijft de warmte door de externe radiator,het onderhouden van de lage temperatuuromgeving in de lithografie-machine en het verzekeren van de stabiele werking van de lithografie-machine.